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Flächenwiderstand

Der Flächenwiderstand einer Schicht der Dicke d ist bei isotropem spezifischem Widerstand ρ gemäß

definiert. Nachdem ρ die Einheit m] hat, ist die Einheit [Ω] (Ohm) des Flächenwiderstandes mit dem des elektrischen Widerstandes identisch. Zur besseren Unterscheidung wird deshalb in seltenen Fällen die Einheit angegeben. Letztere Darstellung wird auch deshalb gewählt, weil bei einem quadratischen Stück mit Elektroden über die gesamte Länge zweier gegenüberliegender Kanten der Widerstand R = U / I mit dem Flächenwiderstand übereinstimmt, also

In englischsprachiger Literatur ist auch in Analogie zu die Einheit „Ohm per square“ üblich.

Der Flächenwiderstand einer Schicht kann mit Hilfe der Vier-Punkt-Methode oder der Van-der-Pauw-Methode gemessen werden.